一、客户概况
厦门众惠微电子主营芯片封装、晶圆测试,是厦门本地专业微电子加工企业,新厂区需搭建分层级洁净厂房,适配光刻、键合、成品封装全工序生产。

二、客户场景与核心需求
- 生产场景痛点芯片线路微米级精密,车间微小粉尘、静电会直接造成晶圆短路、批量报废;不同工序洁净标准差异大,统一净化方案无法兼顾产能与成本;传统净化设备温湿度波动大,精密键合设备加工精度不稳定;人员、物料同通道进出,极易带入外源污染物。
- 明确需求光刻核心工序百级洁净,芯片组装千级,成品包装万级;车间全域防静电、防微振;恒温恒湿 22±0.5℃、湿度 45±3% RH;严格人、物分流,梯度压差隔离污染;整套工程一站式设计施工,交付完整第三方检测报告。


三、科锐特针对性解决方案
针对企业分级生产需求做分区定制净化设计:光刻区采用百级垂直层流 FFU 送风,搭载 ULPA 超高效过滤器;组装车间千级乱流净化,包装区采用经济型万级净化系统;全屋铺设防静电环氧地坪,墙板选用密闭不产尘彩钢板,接缝全密封无积尘死角;独立设置人员风淋通道、物料传递窗,建立 10Pa 以上梯度压差阻断交叉污染;配套智能恒温恒湿机组,72 小时不间断调试校准参数。
四、落地成效
车间悬浮粒子长期稳定达标,芯片因粉尘、静电导致的报废率下降 62%;分区净化模式降低厂区整体运维能耗 28%;一次性通过第三方洁净度检测,满足半导体长期量产标准,成为厦门微电子洁净厂房标杆项目,后续企业二期扩产洁净车间持续选择科锐特合作。
